웨이퍼 스핀 린스 드라이어 (Wafer Spin Rinse Dryers)                         

JS2D-S는 웨이퍼, 마스크 또는 디스크와 같은 기판의 표면을 Drying하기 위해
원심력을 사용하는 Drying 시스템입니다.
기판은 drying chamber 내부에 배치되고, 로터로 고정되고, 부하와 공정의 특성에 따라
적절한 속도로 회전합니다.
건조실 또는 볼은 외부 벽에 있는 뜨거운 여과 질소와 표면 히터의 연속 흐름으로 따뜻해집니다.
기판 표면의 액체는 회전되어 볼에서 배출되고 건조실 표면의 액체 방울은 증발합니다.

JS2D-S 모델은 1 캐리어(25개) 처리 유형의 고품질 Dryer로,Rinsing , Drying 및 작동 퍼포먼스가 우수하며 그외에도 Chamber를 깨끗하게 유지할 수 있는 기능을 제공합니다.

1-cassette type