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JS-MAS1 MaskAligner 고해상도, 고성능 마스크 얼라이너
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반자동형 얼라인먼트 가능(옵션) |
미 경
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모델 명 |
JS-MAS1 |
노광면적
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ø 100mm ,dia. 125mm ,dia. 200mm : (큰 사이즈 제작 : 협의요망) |
노광 방식 |
단면(옵션:양면 가능) |
Resolution
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1 micron |
마스크사이즈
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최대 5인치 125mm x125mm, 6인치 150mmx 150mm,9인치(235mmx 235mm) |
시료대
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진공흡착 고정식 Glass Mask (필름마스크도 가능) |
시료 두께
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최대 2mm |
매니퓨레이터 이동범위
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X,Y: ±12 mm, 미동 1/8mm 1회전, Z: 12mm ,미동 0.2 mm, θ: ±7도 |
collimate half angle
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1.° 이내 |
현미경,램프하우스
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개별 회전 이동 식(수동) |
노광용 타이머
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0~999초 디지털 방식 |
치수
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WxDxH/중량 :1,000mm*800mm*1450mm, 약 120 Kg,형태나 치수는 변동 가능 |
램프 냉각팬
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램프 냉각 팬용 ON/OFF 지연 타이머 |
전원
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*AC 220V 50/60 Hz, 11A |
현미경 |
200~500배줌 |
모니터링방식 |
모니터 및 CCD카메라 |
베큠펌프 |
진공 로터리 펌프 포함 |
조 명 |
100V, 150W, 할로겐 램프 라이트 가이드식 수직 반사 |
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진 공 |
0.5~0.8 Kg/CM2 |
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마스크 홀더 |
진공흡착 고정식 |
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마스크 글래스 |
진공흡착 고정식(필름 마스크 사용가) |
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마스크 사이즈 |
최대 5 인치X 5 인치 |
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시 료 대 |
진공흡착 고정식 |
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시 료 |
진공흡착 고정식 |
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시료 사이즈 |
최대 4 인치Ø |
세부 규격
- Manual alignment and Exposure system
- Manual Load and Unload
- motor drive Alignment Mode (옵션)
- Beam size :5"diameter
- Wafer Stage : X,Y,Z and theta Axis
- Tilted wafer stage
- Mask size : up to 5" x 5"
- 300w 초고압 수은등 or LED 램프
- air cooling unit for lamp
-Double CCD zoom microscope and 21" LCD Monitor
- Oil-less Vacuum Pump
2) System Specification
① Light Source Module
-300W 초고압 수은등or LED 램프 & Power supply
- Wavelength : NUV
- 365nm Max. Intensity : > 20 mw/cm2
- Max. Beam Size :5"diameter
- Beam Uniformity :5 % 이하
②DualCCD Microscope Module
- manual moving stage : X, Y, Z Axis and tilt stage
- Moving Distance
- 500X magnification
- Objective separation : 60 mm
- Y-Axis: 10mm
- 21" LCD Monitor
- Dual optic coaxial illumination
③ Stage Module
- Stage Moving Distance
- X, Y Axis : 5 mm
- Z Axis : 25 mm
- Theta Axis: 4 degree
- Stage Resolution
- X, Y Stage Resolution: 1㎛
- Theta : 0.1 degree
- Z Axis : 10㎛
- Align accuracy : <± 1~2 um
- tilt stage
⑤ Resolution
- Vacuum Contact : 1 um ( photoresist 1um@Si Wafer )
⑥ Utility
- Dimension(mm) : 1,000mm*800mm*1450mm[W*D*H]
- Electric Power : 220V,5Amp, 50/60Hz, 1 Phase
- N2 : More than 1kg/cm2 , Flow rate 5 Liter/min
- Out side diameter 6 mm Tube
- Air : More than 1kg/cm2
- Flow rate 10 Liter/min
- Out side diameter 6 mm Tube
- Vacuum: =600mmHg, ( Vacuum pump included )
- Exhaust: Lamp House Cooling
- Flow rate 10 Liter/min
- Weight : Equipment : 120 kg
- 협의에 따라 사양은 변경 가능
용도 :MEMS ,LithoGraphy..
납품처 :인하대, 가천대, 시립대, NST,경남대 외 다수업체
경기도 안양시 동안구 호계동 555-9
안양 국제 유통단지 17동 127호
Tel : (031) 479-4211/2, Fax : (031) 479-4213
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