À缺ITS´Â ¹ÝµµÃ¼°ü·Ã Àåºñ Á¦ÀÛ¹× ¼öÀÔ ÆǸž÷üÀÔ´Ï´Ù.

 

spin150i
globe box

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EBR
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»ç°¢±Û·¡½º¿ë EBR
(Edge Bead Removal
)

Mask Cleaner

spin rinse dryerspin rinse dryer
IPA dryer
             
Mask Cleaner
             

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µå¶óÀÌÇʸ§ ¶ó¹Ì³×ÀÌÅÍ
 
ALD System(Atomic Layer Deposition)
ALD(Aomic Layer Deposition) ALD ALD ALD
ALD
ALD ALD  
AT200M
AT410
AT650P
AT650T
AT-OZONE Generator
AT610
AT810

AT200M Àº °¡Àå ÀÛÀº Å©±âÀÇ ALD(¿øÀÚÃþ ÁõÂø) ½Ã½ºÅÛÀÔ´Ï´Ù.
-±Û·¯ºê¹Ú½º¿¡ µé¾î°¥ ¸¸Å­ ÀÛÀº Å©±â

AT410 ¸ðµ¨Àº ¸ÂÃãÇü ô/Ç÷¡Æ° ¶Ç´Â è¹ö(3D ºÎÇ°¿ë)¸¦ °®Ãá
°¡Àå °¡¼ººñ³ôÀº ½á¸Ö ALD ÀåºñÀÔ´Ï´Ù.

AT650P´Â ´Ù¿î½ºÆ®¸² ÇöóÁ¸¦
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µ¥½ºÅ©Åé ÇöóÁ ALD ½Ã½ºÅÛÀÔ´Ï´Ù.

AT650T´Â ÇöóÁ·Î ¾÷±×·¹À̵尡 °¡´ÉÇÑ
6ÀÎÄ¡ µ¥½ºÅ©Åé ½á¸ÖALD ½Ã½ºÅÛÀÔ´Ï´Ù.

ATOzone(¿ÀÁ¸ ¹ß»ý±â) ½Ã½ºÅÛÀº
¾ÆÁÖ ÀÛÀº Å©±â·Î °í³óµµ(ÃÖ´ë 12%) ¿ÀÁ¸À» Àü´ÞÇÏ´Â
°íÇ°Áú ¿ÀÁ¸ ¹ß»ý±â ÀÔ´Ï´Ù

AT610Àº °¡Àå ºñ¿ë È¿À²ÀûÀÎ 6ÀÎÄ¡ µ¥½ºÅ©Å¾½á¸Ö ALD ½Ã½ºÅÛÀÔ´Ï´Ù.
¸ÂÃãÇü ô/è¹ö/Ç÷¡ÀÌÆ°(¼ÒÇü ¶Ç´Â 3D ºÎÇ°¿ë).
Á¤»ç°¢Çü ±âÆÇÀ» °íÁ¤ÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.

AT810 ¸ðµ¨Àº 8ÀÎÄ¡ µ¥½ºÅ©Å¾ ¿­ ALD ½Ã½ºÅÛÀÔ´Ï´Ù.
¸ÂÃãÇü ô/è¹ö/Ç÷¡ÀÌÆ°(¼ÒÇü,3D ºÎÇ° ¶Ç´Â ´ÙÁß ºÎÇ°¹èÄ¡ ¿ë).
Á¤»ç°¢Çü ±âÆÇÀ» °íÁ¤ÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.

 

               
½ºÆÛÅÍ Sputter
               

espro Flowmeter

maskless lithography
.
vacuum tweezer
vacuum wand
   
¿þÀÌÆÛ Çڵ鸵 ½Ã½ºÅÛ
WAFER TRANSFERS
WAFER ALIGNERS
WAFER PICKS
METAL CASSETTES
OPENERS
MASK PICKS
PRESENTERS
SORTERS

 

½ºÇÉÄÚÅÍ/Spincoater 4Æ÷ÀÎÆ®ÇÁ·Îºê/4PointProbe ¸¶½ºÅ©¾ó¶óÀ̳Ê/MaskAligner ¼±ÇϾßÅä/Sunhayato PCB Á¦À۽ýºÅÛ
Æĸ±·»ÄÚÅÍ/Parylenecoater ¿¡Ã³/Ä¿ÅÍ



À缺ITS co, Tel:031-479-4211/2 Mail: contrabase26@gmail.com     jsi@jsits.com
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