재성ITS는 반도체관련 장비 제작및 수입 판매업체입니다.

 

spin150i
globe box

spin150i
EBR
EBR
 
사각글래스용 EBR
(Edge Bead Removal
)
spin rinse dryerspin rinse dryer
IPA dryer

반자동형
마스크 얼라이너

평행광 노광기

마스크 얼라이너4
마스크 얼라이너5
마스크 얼라이너3
 
 
드라이필름 라미네이터
 
ALD System(Atomic Layer Deposition)
ALD(Aomic Layer Deposition) ALD ALD ALD
ALD
ALD ALD  
AT200M
AT410
AT650P
AT650T
AT-OZONE Generator
AT610
AT810

AT200M(글러브박스에 들어갈 만큼 작은 크기)은 시중에서 구입할 수 있는 가장 작은 크기의 ALD(원자층 증착) 시스템입니다.

4인치 AT410 모델은 맞춤형 척/플래튼 또는 챔버(3D 부품용)를 갖춘 시중에서 가장 가성비높은 써멀 ALD 장비입니다.

6인치 AT650P는 다운스트림 플라즈마를 갖춘 비용 효율적인 데스크톱 플라즈마 ALD 시스템입니다.

AT650T는 플라즈마로 업그레이드가 가능한 6인치 데스크톱 써멀 ALD 시스템입니다.

ATOzone(오존 발생기) 시스템은 아주 작은 크기로 고농도(최대 12%) 오존을 전달하는 고품질 오존 발생기 입니다

AT610은 시장에서 가장 비용 효율적인 6인치 데스크탑써멀 ALD 시스템입니다.
맞춤형 척/챔버/플래튼(소형 또는 3D 부품용).
정사각형 기판을 고정할 수 있습니다.

AT810 모델은 8인치 데스크탑 열 ALD 시스템입니다.
맞춤형 척/챔버/플래튼(소형,3D 부품 또는 다중 부품배치 용).
정사각형 기판을 고정할 수 있습니다.

 

espro Flowmeter

maskless lithography
.
vacuum tweezer
vacuum wand
   
웨이퍼 핸들링 시스템
WAFER TRANSFERS
WAFER ALIGNERS
WAFER PICKS
METAL CASSETTES
OPENERS
MASK PICKS
PRESENTERS
SORTERS

 

스핀코터/Spincoater 4포인트프로브/4PointProbe 마스크얼라이너/MaskAligner 선하야토/Sunhayato PCB 제작시스템
파릴렌코터/Parylenecoater 에처/커터



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