소형 스핀에처 ,스핀디벨로퍼:Spin Cleaning & Spin Drying

Jsi-803ARD Spin Spin Etcher, Rinsing Dryer,

-Full 플래스틱 하우징

-시료 : 웨이퍼 , 글래스

-시료크기 :Single wafer process, 6~12inch

-Acid-resistant materials and structure

-Etching ,Rinsing, Dry 가능
- 3 Nozzle, (1nozzle for Acid washing, 2nozzle for DI-Water Rinsing)
-Body & Bowl :PVC
-Max Substrate :최대 200 MM Φ 150mm x 150mm
-Speed :100~3000rpm RPM
-Acuracy :+-0.5%,Speed Control Motor
-Step :3steps,
-Timer:0-999 seconds
-기본 Chuck 포함
Dimension : 430w*430h*370d mm :8인치 기준
용도:웨이퍼 ,글라스 코팅, 린싱,

 

 

 
   

Spin coater JS 시리즈

기종

스핀코터
스핀 린스, 드라이어
스핀 디벨로퍼
스핀에처
Remarks

시료 크기

직경기준: 150∼500 mm이하

직경기준: 150∼500 mm이하

직경기준: 150∼500 mm이하

직경기준: 150∼500 mm이하

유저 와 협의

보울(Bowl) 재질

스텐레스 또는 NPP

스텐레스 또는 NPP

스텐레스 또는 NPP

스텐레스 또는 NPP

본체 재질

Suss, 스텐레스 재질

Suss, 스텐레스 재질

Suss, 스텐레스 재질

Suss, 스텐레스 재질

스핀 모터

스피드 콘트롤 모터

스피드 콘트롤 모터

스피드 콘트롤 모터

스피드 콘트롤 모터

회전수

250∼6000rpm

250∼6000rpm

250∼6000rpm

250∼6000rpm

시료크기에 따라
변동

회전단수

3단(아날로그 타이머)

3단(아날로그 타이머)

3단(아날로그 타이머)

3단(아날로그 타이머)

유저 와 협의

0.2 sec∼500hrs

0.2 sec∼500hrs

0.2 sec∼500hrs

0.2 sec∼500hrs

전원

AC220V

AC220V

AC220V

AC220V

CDA or N2

       
유저 와 협의

진공

200 Torr 이상

200 Torr 이상

200 Torr 이상

200 Torr 이상

토출 노즐 갯수

       
유저 와 협의

옵션

시료척 기본 1개

시료척 기본 1개

시료척 기본 1개

시료척 기본 1개

       

안전 커버

안전 커버

안전 커버

안전 커버

본체크기
       
수동형 또는 자동형은 유저와 협의에 의해 결정 가능

 

 

 



  • Drying
  • Rinse/clean
  • Etching
  • Manual coating
  • Automatic coating
  • Developing

재성ITS co.      Tel:031-479-4211/2   Fax:031-479-4213
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