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스핀코터
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스핀코터 모델

큰 시료용 스핀코터는 주문 제작 가능

Natural Polypropylene Models(NPP)             

CHEMICAL/ DISPENSE 용도 VS.
모델명		 DRY RINSE CLEAN ETCH MANUAL/ COATING AUTO/ COATING DEVELOP
DesCription
IND :키보드 분리형,
시료 사이즈
MANUAL
DISPENSE		      
재질 :NPP
서보모터
Accuracy: +-0.1 RPM
무한메모리, 무한스텝
RPM : 1-12.000 rpm;
외형치수: 274 (w) x 250 (d) x 451 (h) mm

                       
~ Ø160mm ( 6")
or 4”x4”
     

키보드 분리형

글로브박스내 설치시
유용

 
 

 
재질 :NPP
서보모터
Accuracy: +-0.1RPM
무한메모리, 무한스텝 RPM : 1-12.000  rpm;
외형치수: 330 (w) x 550 (d) x 320 (h) mm
 ~ Ø260mm ( 8") or 6”x6”
 

 

키보드 분리형

글로브박스내 설치시
유용

 
AUTO-
DISPENSE		      
재질 :NPP
서보모터
Accuracy: +-0.1 RPM
무한메모리, 무한스텝 RPM : 1-12.000  rpm;
외형치수: 330 (w) x 550 (d) x 320 (h) mm
 

 

키보드 분리형

글로브박스내 설치시
유용

MANUAL
DISPENSE		  

 
재질 :NPP
서보모터
Accuracy: +-1 RPM
99 메모리, 99 step
RPM : 1-10.000 rpm;
외형치수: 43cm (w) x 65cm (d) x 31cm
~ Ø360mm ( 12") or 8"x8"
 

 

키보드 분리형

글로브박스내 설치시
유용

AUTO-
DISPENSE		      
재질 :NPP
서보모터
Accuracy: +-1 RPM
99 메모리, 99 step
RPM : 1-10.000 rpm;
외형치수: 43cm (w) x 65cm (d) x 31cm
 

 

키보드 분리형

글로브박스내 설치시
유용

 

PTFE(Teflon) Models

CHEMICAL/ DISPENSE 용도 VS.
모델명		 DRY RINSE CLEAN ETCH MANUAL/ COATING AUTO/ COATING DEVELOP
DesCription
시료 사이즈
MANUAL
DISPENSE		      
재질 :테플론
서보모터
Accuracy: +-0.1 RPM 무한메모리, 무한스텝 RPM : 1-12.000  rpm;
외형치수: 274 (w) x 250 (d) x 451 (h) mm
~ Ø160mm ( 6")
or 4”x4”
     

키보드 분리형

글로브박스내 설치시
유용



 

 
재질 :테플론
서보모터
Accuracy: +-0.1 RPM 무한메모리, 무한스텝 rpm;
외형치수: 330 (w) x 550 (d) x 320 (h) mm
~ Ø260mm ( 8")
or 6”x6”
 

 

키보드 분리형

글로브박스내 설치시
유용

AUTO-
DISPENSE		      
재질 :테플론
서보모터
Accuracy: +-0.1 RPM 무한메모리, 무한스텝
rpm; 1-12,000
외형치수: 330 (w) x 550 (d) x 320 (h) mm
 

 

키보드 분리형

글로브박스내 설치시
유용

MANUAL
DISPENSE		  

 
재질 :테플론
서보모터
Accuracy: +-1 RPM
99 메모리, 99 step
RPM : 1-10.000 rpm;
외형치수: 43cm (w) x 65cm (d) x 31cm
~ Ø360mm ( 12")
or 8"x8"
 

 

키보드 분리형

글로브박스내 설치시
유용

AUTO-
DISPENSE		              
재질 :테플론
서보모터
Accuracy: +-1 RPM
99 메모리, 99 step
RPM : 1-10.000 rpm;
외형치수: 43cm (w) x 65cm (d) x 31cm
ACD300-PTFE-IND  

 

키보드 분리형

글로브박스내 설치시
유용

 

 

CHEMICAL/ DISPENSE 용도 VS.모델명 DRY RINSE CLEAN ETCH MANUAL/ COATING AUTO/ COATING DEVELOP
DesCription
시료 사이즈
MANUAL
DISPENSE		 Polos 600 SST        
~ Ø550mm

  제품 특성:

  • 수동형 디스펜싱기능 부터 완전 자동 디스펜싱까지 폭넓은 선택 가능한 제품군
  • 무진동 설계 :최대 12,000RPM :Coating Thickness Uniformaty 우수
  • Acceleration / Deceleration :1~30,000RPM
  • 고정밀 독일제 DC Servo모터 사용 :+-1 RPM/sec
  • 설치면적 최소화 설계
  • 용도에따른 주문제작 가능
  • 고내화학성 하우징및 간편한 클리닝 가능
  • 글로브 박스내에서도 작업 가능한 편리하고 큼직한 키보드 스타일
  • 고신뢰성 반복작업 가능
  • 복작한 작업 가능한 하이스텝 -메모리 기능,99Step-99memory:MCD 200~
  • Programmable Relays, allowing process controlled interfacing with external hardware
  • German Quality

Teflon® is a Dupont Registered Trademark, TFM is a Dyneon Registered Trademark.

 

        Polos Spincoater 작동모습

  • Determination of spincoating uniformity and wafer to wafer uniformity of the APT Spincoating system using AZ5214E resist.
    ( By: T. Zijlstra TUDelft B. de Lange TUDelft B. van Weelde SPS )

    - APT Spincoater의 특징
    Wafer uniformity의 향상을 위한 2 Point

    1. acceleration during ramp up: Changing the acceleration resulted in more smooth resist films,
    i.e. “comet” tails disappeared when the acceleration during ramp up was increased to 1000 rpm per second, with a final spinning speed of 5000 rpm.

    2. Airflow in the spinbowl: Reducing the the airflow to zero resulted in circular uniformal resist pattern on the wafer

 
디스펜싱용 스핀코터

스핀에처
스핀디벨로퍼

스핀프로세서1스핀프로세서2

EBR

사각글래스용 EBR
(Edge Bead Removal)

Mask Cleaner

반자동형
마스크 얼라이너

평행광 노광기

사각 기판용
평행광 노광기
ALD System(Atomic Layer Deposition)

오존 클리너
Ozon Cleaner

스퍼터 Sputter
마스크리스 얼라이너

Maskless Aligner

Maskless Lithography

espro Flowmeter
간이암실
베큠 트위져
Vacuum Tweezer
웨이퍼 핸들링 시스템

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